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PALL XpressKleen™ G2 filters過濾器

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PALLXpressKleen™G2filters過濾器產(chǎn)品介紹XpressKleenG2過濾器改進(jìn)了PTFE膜過濾，使半導(dǎo)體制造商能夠滿足前沿器件制造工藝的關(guān)鍵化學(xué)過濾要求

詳細(xì)介紹

PALL XpressKleen™ G2 filters過濾器

產(chǎn)品介紹

XpressKleen G2過濾器改進(jìn)了PTFE膜過濾，使半導(dǎo)體制造商能夠滿足前沿器件制造工藝的關(guān)鍵化學(xué)過濾要求。

XpressKleen過濾器在保持臨界流體純度的同時(shí)，可控制臨界尺寸的顆粒。每個(gè)單長(zhǎng)度過濾器保證總金屬離子可提取量小于3ppb。

XpressKleen過濾器的表面清潔度包括去除有機(jī)污染和表面顆粒。過濾器適用于

使用從供應(yīng)點(diǎn)(POS)到工藝點(diǎn)(POP)，以幫助定義一個(gè)污染控制系統(tǒng)，提供所需的流體純度硅片。

頗爾采用制造工藝(AMP)。它結(jié)合＊的潔凈室制造專有的清潔方法。改進(jìn)的統(tǒng)計(jì)過程控制(SPC)保證了可靠性和性能。

不脫濕的XpressKleen G2過濾器適用于腐蝕性高溫清洗化學(xué)品，以及溶劑和含水化學(xué)品，如SC1和SC2。

?超低萃取物

?> 40納米顆粒沖洗控制在UPW1

?TOC、有機(jī)物、NVR控制

?標(biāo)準(zhǔn)99%預(yù)濕膠囊與超純水

?高流速

?T型流量G2 KC總成可配置下游排氣口

?一次性過濾器單元，過濾筒整體密封在外殼中

?密封組件，更安全的處理和更快的更換

?99%完整性測(cè)試

1 > 20納米顆粒漂洗控制在UPW為5納米和2納米級(jí)

特點(diǎn)

構(gòu)成材質(zhì)2

部件	材質(zhì)
濾材	表面改性PTFE
濾膜背襯	PTFE / PFA
內(nèi)芯、網(wǎng)罩和端蓋	PFA
殼體	PFA
O型圈選項(xiàng)³	包封FEP的氟橡膠

^*2全氟聚合物材料，不使用PFOA。
³ 其它選項(xiàng)請(qǐng)咨詢工廠。

過濾精度和操作條件

Kleen-Change® (KC)

過濾精度	2 nm	5nm	10nm	12 nm	15 nm		30 nm
介質(zhì)編碼	XP2	XP5	XP10	XP12	XP15	XP15L	XP30
過濾面積	2m²/21.5ft²	2.8m²/30.1ft²	2.8m²/30.1ft²	2.2m²/23.7ft²	1.9m²/20.5ft²	3m²/32.3ft²	1.9m²/20.5ft²
金屬提取物	< 0.5 ppb⁶	< 0.5 ppb⁶	< 1 ppb⁶	< 3 ppb⁶
流量	Inline, L-flow, T-flow
＊高操作溫度	185℃/365℉
＊高操作壓力	0.49 MPaG ( 71 psig) @ 25°C (77°F) 0.39 MPaG (56.6 psig) @ 60°C (140°F) 0.34 MPaG (49.3 psig) @ 90°C (194°F) 0.20 MPaG (29.0 psig) @ 120°C (248°F) 0.15 MPaG (21.8 psig) @ 150°C (302°F) 0.12 MPaG (17.4 psig) @ 185°C (365°F)

Cartridge

過濾精度	2 nm	5nm	10nm	12 nm	15 nm		30 nm
介質(zhì)編碼	XP2	XP5	XP10	XP12	XP15	XP15L	XP30
過濾面積	2m²/21.5ft²	2.8m²/30.1ft²	2.8m²/30.1ft²	2.2m²/23.7ft²	1.9m²/20.5ft²	3m²/32.3ft²	1.9m²/20.5ft²
金屬提取物	<1 ppb⁶	<1ppb⁶	< 1 ppb⁶	< 3 ppb⁶
流量	Inline, L-flow, T-flow
＊高操作溫度	185℃/365℉
＊高操作壓力	0.59 MPaG (85.6 psig) @ 50°C (120°F)

Total metal concentrations in 13 elements for 30 nm, 15 nm, 12 nm and 10 nm: Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb.

5 Total metal concentrations in 19 elements for 5 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag.

6 Total metal concentrations in 30 elements for 2 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag, Mo, Pd, Pt, Ru, As, Au, Cd, Sb, Sr, V, W

XpressKleen G2 KC Assemblies

LDF 1 2 1XP 3 4 E 5

表格1 表格2 表格3

代碼	過濾精度
2	2nm
5	5nm
10	10nm
12	12nm
15	15nm
15L	15nm
30	30nm

代碼	下游通風(fēng)口
1	N/A
2	Available

代碼	流量
T	T-flow
N	Available
L	L-flow

表格4

代碼	進(jìn)口、出口	通氣口/排液口頭端	通氣口/排液口濾筒斷	類型
12	3/4英寸公頭	1/2英寸公頭	1/2英寸公頭	T型流動(dòng)/L型流動(dòng)
12	3/4英寸公頭	1/2英寸母頭	1/2英寸母頭	DV type
12	3/4英寸公頭	3/8英寸公頭	3/8英寸公頭	In-line
124	3/4英寸公頭	1/4英寸公頭	1/4英寸公頭	In-line
128	3/4英寸公頭	1/2英寸公頭	1/2英寸公頭	DV type
13	3/4英寸母頭	1/2英寸母頭	1/2英寸母頭	T型流動(dòng)
16	1英寸公頭	1/2英寸公頭	1/2英寸公頭	T型流動(dòng)
16	1英寸公頭	1/2英寸公頭	1/2英寸母頭	DV type
16	1英寸公頭	3/8英寸公頭	3/8英寸公頭	In-line
164	1英寸公頭	1/4英寸公頭	1/4英寸公頭	In-line
168	1英寸公頭	1/2英寸公頭	1/2英寸公頭	DV type
17	1英寸母頭	1/2英寸公頭	1/2英寸公頭	In-line

表格5⁷

代碼	連接
1	20系列(Flowell)⁸
2	Super Pillar型⁹
51	Flare style
6	FinalLock¹⁰
71	Super Pillar300P系列
72	Super Pillar 300P系列L型
8	60系列(Flowell)
9	11CR系列(Flowell)